Vorrichtung zur Geräteherstellung und Verfahren dafür

EP2613340 Art B1 13. März 2019

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2613340
Aktenzeichen
EP11821791
Anmeldetag
30. August 2011
Veröffentlichung
13. März 2019
Erteilung
13. März 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/027H01L21/677G05B19/418
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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