Kolloidales Siliciumdioxid Enthaltene Polierzusammensetzung

EP2613344 Art A1 10. Juli 2013

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2613344
Aktenzeichen
EP11821644
Anmeldetag
25. August 2011
Veröffentlichung
10. Juli 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/304B24B37/00C09K3/14H01L21/3105H01L21/02C09G1/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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