Silicium-Ätzmittel und Verfahren zur Herstellung eines Transistors damit

EP2613345 Art A1 10. Juli 2013

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2613345
Aktenzeichen: EP11821468
Anmeldetag: 26. Juli 2011
Veröffentlichung: 10. Juli 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213H01L29/78H01L29/66H01L29/51

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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