Verwendung von Behandlungsflüssigkeit zur Hemmung von Musterzusammenbrüchen in Mikrostrukturen und Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen unter Verwendung der Behandlungsflüssigkeit
EP2615630
Art B1
20. November 2019
Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2615630
- Aktenzeichen
- EP11823333
- Anmeldetag
- 14. Juli 2011
- Veröffentlichung
- 20. November 2019
- Erteilung
- 20. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304H01L21/308B81C1/00H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Gas Chemical Company
Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.
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