Verfahren zur Herstellung und Spülung einer Halbleitervorrichtung

EP2615635 Art B1 25. Mai 2016

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2615635
Aktenzeichen
EP11823646
Anmeldetag
8. September 2011
Veröffentlichung
25. Mai 2016
Erteilung
25. Mai 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/312C09K3/10H01L21/304H01L21/308H01L21/768H01L23/522H01L21/02H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsui Chemicals, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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