Vorrichtung und Verfahren zur Erhaltung von Immersionsflüssigkeit in der Spalte unter einer Projektionslinse während des Waferaustauschs in einer Immersionslithografiemaschine

EP2618213 Art B1 9. März 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2618213
Aktenzeichen: EP13154181
Anmeldetag: 17. März 2004
Veröffentlichung: 9. März 2016
Erteilung: 9. März 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03B27/32G03B27/42G03B27/58G03F7/20G03B27/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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