Silicium-Ätzflüssigkeit und Verfahren zur Herstellung eines Transistors damit

EP2618367 Art B1 19. Oktober 2016

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2618367
Aktenzeichen: EP11824897
Anmeldetag: 26. Juli 2011
Veröffentlichung: 19. Oktober 2016
Erteilung: 19. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/308H01L21/28H01L21/306H01L21/336H01L21/8234H01L27/088H01L29/423H01L29/49H01L29/78H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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