Reinigungsvorrichtung, Ausrüstung und Verfahren

EP2620230 Art B1 19. August 2015

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2620230
Aktenzeichen
EP13151320
Anmeldetag
15. Januar 2013
Veröffentlichung
19. August 2015
Erteilung
19. August 2015
Rechtsraum
EP
IPC
B08B3/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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