Optische Einheit, optisches Beleuchtungsgerät, Belichtungsgerät und Geräteherstellungsverfahren

EP2620799 Art B1 18. Oktober 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2620799
Aktenzeichen: EP12197226
Anmeldetag: 23. Oktober 2008
Veröffentlichung: 18. Oktober 2017
Erteilung: 18. Oktober 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G02B27/09G02B27/28// G03F7/20G02B27/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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