Spiegel, Projektionsobjektiv mit Derartigem Spiegel, und Projektionsbelichtungsvorrichtung für Mikrolithografie mit einem Derartigen Projektionsobjektiv

EP2622609 Art A1 7. August 2013

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2622609
Aktenzeichen: EP11760744
Anmeldetag: 13. September 2011
Veröffentlichung: 7. August 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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