Teilchenoptische Systeme und Anordnungen sowie Teilchenoptische Komponenten für Derartige Systeme und Anordnungen

EP2622626 Art B1 25. Januar 2017

Anmelder: Applied Materials Israel Ltd., Carl Zeiss Microscopy GmbH, Carl Zeiss SMT GmbH 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2622626
Aktenzeichen: EP11761288
Anmeldetag: 23. September 2011
Veröffentlichung: 25. Januar 2017
Erteilung: 25. Januar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/317H01J37/09

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Applied Materials Israel Ltd.
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇮🇱 Israel

🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

564 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von