Immersionsbelichtungsvorrichtung und -verfahren, und Verfahren zur Herstellung eines Geräts

EP2624282 Art B1 8. Februar 2017

Anmelder: Nikon Corporation, Nikon Engineering Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2624282
Aktenzeichen: EP13153430
Anmeldetag: 9. Juni 2005
Veröffentlichung: 8. Februar 2017
Erteilung: 8. Februar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Nikon Engineering Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von