Verfahren zur Herstellung von Dünnschichten und Vorrichtung zur Herstellung von Dünnschichten
EP2624285
Art B1
26. August 2020
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2624285
- Aktenzeichen
- EP11828339
- Anmeldetag
- 15. September 2011
- Veröffentlichung
- 26. August 2020
- Erteilung
- 26. August 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316C23C16/52H01L21/31C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Kanzlei
Lorenz & Kollegen
Heidenheim, Deutschland
Lorenz & Kollegen wurde 1976 von Dr. Werner Lorenz als Einzelkanzlei in Heidenheim an der Brenz gegründet, seit 2011 mit zweitem Standort in München. Schwerpunkte in Maschinenbau, Optoelektronik, Elektrotechnik, Physik und Informationstechnologie, dazu Marken- und Urheberrecht.
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