Herstellungsverfahren für eine Halbleitervorrichtung

EP2624286 Art B1 11. November 2020

Anmelder: Fuji Electric Co., Ltd., Fuji Electric Co. Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2624286
Aktenzeichen
EP10857866
Anmeldetag
30. September 2010
Veröffentlichung
11. November 2020
Erteilung
11. November 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683H01L21/331H01L23/544H01L29/06H01L29/739G03F9/00// H01L21/266
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fuji Electric Co., Ltd.
Fuji Electric Co. Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fuji Electric

Japanischer Elektrotechnikkonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Leistungshalbleiter, Energieerzeugungsanlagen und industrielle Automatisierungstechnik.

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