Spiegel, Spiegelvorrichtung, Laservorrichtung und Vorrichtung zur Erzeugung von Extrem-Uv-Licht
EP2625559
Art A2
14. August 2013
Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2625559
- Aktenzeichen
- EP11815773
- Anmeldetag
- 7. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 14. August 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Gigaphoton Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Gigaphoton
Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.
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Fachgebiete
Vertreten von
Hards, Andrew
München, Deutschland
144
Patente gesamt
25
Fachgebiete
3
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