Pumpen
Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2626562
- Aktenzeichen
- EP13154470
- Anmeldetag
- 7. Februar 2013
- Veröffentlichung
- 4. Mai 2016
- Erteilung
- 4. Mai 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04C23/00F04C25/02F04C28/06
Abstract
The present invention relates to a multi-stage vacuum pump having a plurality of compression stages 12, 14, 16, 18 20 and a booster stage 22. The pump 10 is arranged to pump a chamber 24. The pumping stages comprise respective rotors supported for rotation on one or more common drive shafts 26. A recirculation valve 28 is associated with the booster stage 22 for selective recirculation of pumped fluid from an outlet 32 to an inlet 30 of the booster stage above a predetermined pressure.
Anmelder
- Firma
- Edwards Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
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