Vakuumpumpensteuervorrichtung und Vakuumpumpe

EP2626568 Art B1 12. Februar 2020

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2626568
Aktenzeichen
EP11830428
Anmeldetag
28. Juli 2011
Veröffentlichung
12. Februar 2020
Erteilung
12. Februar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D27/02F04D25/06F04D29/58F04B37/08F04B37/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen