Vorrichtung und Verfahren zur Atomlagenabscheidung auf einer Oberfläche
EP2627797
Art A1
21. August 2013
Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2627797
- Aktenzeichen
- EP11770565
- Anmeldetag
- 12. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 21. August 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/46C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)
Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Jansen, Cornelis Marinus
Den Haag, Niederlande
3.760
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Schwerpunkte
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V.O
V.O · Den Haag