Entwurf und Steuerung eines Mehrtemperatur-Mikroofens für Mems-Vorrichtungen

EP2628244 Art B1 17. August 2016

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2628244
Aktenzeichen
EP11782075
Anmeldetag
11. Oktober 2011
Veröffentlichung
17. August 2016
Erteilung
17. August 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H03H9/02H03H9/08H03L1/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

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