Vorrichtung für Strukturierte Beleuchtung, Mikroskopvorrichtung für Strukturierte Beleuchtung und Vorrichtung zur Messung einer Oberflächenform

EP2629133 Art A1 21. August 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2629133
Aktenzeichen: EP11832275
Anmeldetag: 11. Oktober 2011
Veröffentlichung: 21. August 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G02B21/06G01N21/64G02F1/11G02B27/42G02B27/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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