Anordnung und Verfahren zur Positionierung eines Bearbeitungswerkzeuges gegenüber einem Werkstück

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2629325

Aktenzeichen

EP13153251

Anmeldetag

30. Januar 2013

Veröffentlichung

22. Oktober 2014

Erteilung

22. Oktober 2014

Rechtsraum

EP

IPC

H01L21/68H01L21/67G01B11/00

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung und ein Verfahren zur Positionierung eines Bearbeitungswerkzeuges gegenüber einem Werkstück. Hierbei ist auf einem ersten Objekt eine Objekt-Ausrichtmarkierung und das Werkstück angeordnet. Auf dem Werkstück ist ferner eine Werkstück-Ausrichtmarkierung angeordnet. Auf einem zweiten Objekt, welches gegenüber dem ersten Objekt entlang mindestens einer Bewegungsrichtung beweglich angeordnet ist, ist das Bearbeitungswerkzeug angeordnet, über das die Objekt-Ausrichtmarkierung detektierbar ist. Desweiteren ist darauf ein Ausrichtsensor angeordnet, über den die Objekt-Ausrichtmarkierung und die Werkstück-Ausrichtmarkierung detektierbar sind. Ferner ist am zweiten Objekt eine abtastbare Maßverkörperung angeordnet, die sich entlang der mindestens einen Bewegungsrichtung erstreckt. Am ersten Objekt sind mindestens zwei Abtasteinheiten zur Abtastung der Maßverkörperung angeordnet, um derart die Relativposition zwischen dem ersten und dem zweiten Objekt entlang der Bewegungsrichtung zu bestimmen, wobei die beiden Abtasteinheiten einen definierten Versatz aufweisen ( Fig. 7 ).

Anmelder

Firma

Dr. Johannes Heidenhain GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete