Halbleiterherstellungseinrichtung
Anmelder: LG Innotek Co., Ltd. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2629327
- Aktenzeichen
- EP13155303
- Anmeldetag
- 14. Februar 2013
- Veröffentlichung
- 1. April 2020
- Erteilung
- 1. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687
Abstract
Disclosed is a semiconductor manufacturing apparatus including at least one pocket on which a passive subject on which deposition will be executed is mounted, and a carrier body having an insertion space to which the at least one pocket is detachably attached. Therefore, the semiconductor manufacturing apparatus shortens process time and reduces process expenses. The semiconductor manufacturing apparatus allows respective pockets to have different structures according to the positions of the pockets on the wafer carrier, and thus achieves uniform growth of a material on the surfaces of wafers regardless of the positions of the pockets.
Anmelder
- Firma
- LG Innotek Co., Ltd.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
Südkoreanisches Elektronikunternehmen mit Sitz in Seoul, Tochtergesellschaft der LG-Gruppe. Entwickelt Komponenten für Kamera- und Optikmodule, Halbleiterträger, Motoren und Materialien für Mobilgeräte, Fahrzeuge und Displays.
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Fachgebiete
M. Zardi & Co. SA, 1999 gegründete Kanzlei für geistiges Eigentum mit Sitz in Lugano im Kanton Tessin. Berät zu Patenten, Marken und Design und vertritt Mandanten vor dem Eidgenössischen Institut für Geistiges Eigentum, dem Europäischen Patentamt und der WIPO.
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M. Zardi & Co S.A
M. Zardi & Co S.A · Lugano