Mikroskopsystem

EP2630536 Art B1 11. Dezember 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2630536
Aktenzeichen
EP11785141
Anmeldetag
19. Oktober 2011
Veröffentlichung
11. Dezember 2019
Erteilung
11. Dezember 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G02B21/08G02B21/12G02B21/14G02B21/36// G02F1/1335G02F1/137
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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