Sputterquellen für Hochdrucksputtern mit Grossen Targets und Sputterverfahren

EP2630650 Art B1 5. Oktober 2016

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH, Forschungszentrum Jülich Gmbh 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2630650
Aktenzeichen: EP11813313
Anmeldetag: 17. September 2011
Veröffentlichung: 5. Oktober 2016
Erteilung: 5. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Forschungszentrum Jülich GmbH
Forschungszentrum Jülich Gmbh
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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