Oszillator-Verstärker-Antriebslaser mit Samenschutz für eine Euv-Lichtquelle

EP2630704 Art A1 28. August 2013

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV, Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2630704
Aktenzeichen: EP11834795
Anmeldetag: 6. September 2011
Veröffentlichung: 28. August 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/00H01S3/117// H05G2/00H01S3/07H01S3/08H01S3/081H01S3/223H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV
Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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