Herstellung eines Polymers, resultierendes Polymer, Resistzusammensetzung und Strukturierungsverfahren

EP2631253 Art A3 18. Dezember 2013

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2631253
Aktenzeichen: EP13156373
Anmeldetag: 22. Februar 2013
Veröffentlichung: 18. Dezember 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C08F8/00C08F6/00C08F246/00G03F7/004G03F7/039G03F7/20H01L21/027// C08F220/38C08F220/18C08F220/28C08F220/20C07C309/12C07C309/08C07C309/22C07C67/08C07C303/22

Abstract

A sulfonic acid anion--containing polymer having a triarylsulfonium cation is prepared by (1) preparing a sulfonic acid anion-containing polymer having an ammonium or metal cation not bound thereto, (2) purifying the polymer by water washing or crystallization, and (3) then reacting the polymer with a triarylsulfonium salt. A resist composition comprising the inventive polymer is effective for controlling acid diffusion since the sulfonium salt is bound to the polymer backbone.

Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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