Vakuumpumpe
EP2631486
Art B1
23. September 2015
Anmelder: Edwards Japan Limited, Société de Mécanique Magnétique 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2631486
- Aktenzeichen
- EP11834112
- Anmeldetag
- 28. Juli 2011
- Veröffentlichung
- 23. September 2015
- Erteilung
- 23. September 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D25/06F04D19/04// F04D29/58
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Edwards Japan Limited
Société de Mécanique Magnétique - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Edwards Japan
Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.
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Miller Sturt Kenyon
Miller Sturt Kenyon · London