Vakuumpumpe

EP2631486 Art B1 23. September 2015

Anmelder: Edwards Japan Limited, Société de Mécanique Magnétique 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2631486
Aktenzeichen
EP11834112
Anmeldetag
28. Juli 2011
Veröffentlichung
23. September 2015
Erteilung
23. September 2015
Rechtsraum
EP
IPC
F04D25/06F04D19/04// F04D29/58
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Edwards Japan Limited
Société de Mécanique Magnétique
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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