Vakuumpumpe

EP2631487 Art A1 28. August 2013

Anmelder: Edwards Japan Limited, Société de Mécanique Magnétique 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2631487
Aktenzeichen
EP11834113
Anmeldetag
28. Juli 2011
Veröffentlichung
28. August 2013
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04B39/00F04D25/06F04B37/08F04B37/14H05K1/14H05K3/00F01D25/24// F04D29/64H05K1/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Edwards Japan Limited
Société de Mécanique Magnétique
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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