Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer Elektrostatischen Ladung
EP2631661
Art A1
28. August 2013
Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2631661
- Aktenzeichen
- EP12745096
- Anmeldetag
- 25. Januar 2012
- Veröffentlichung
- 28. August 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R29/24G01R29/08G01R29/12G01R29/14H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
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Vertreten von
Hertz, Oliver
München, Deutschland
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Prüfer & Partner GbR European Patent Attorneys
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