Belichtungssystem, Belichtungsmethod und Konfigurationsmethod

EP2631699 Art B1 9. November 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2631699
Aktenzeichen: EP13156736
Anmeldetag: 10. September 2008
Veröffentlichung: 9. November 2016
Erteilung: 9. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G02B26/08G03F7/20G02B27/09// G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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