Profilmessungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Struktur

EP2633268 Art B1 26. September 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2633268
Aktenzeichen: EP11784529
Anmeldetag: 14. Oktober 2011
Veröffentlichung: 26. September 2018
Erteilung: 26. September 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/25

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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