Vorrichtung, Optische Anordnung, Verfahren zur Untersuchung oder Vermessung eines Objektes und Verfahren zur Herstellung einer Struktur

EP2633364 Art B1 6. September 2023

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2633364
Aktenzeichen: EP11838550
Anmeldetag: 25. Oktober 2011
Veröffentlichung: 6. September 2023
Erteilung: 6. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01S7/481G02B26/10G01B11/02G01N21/01G02B19/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von