Vorrichtung für Homothetische Projektion eines Musters auf die Oberfläche einer Probe und Lithografieverfahren mit einer Solchen Vorrichtung
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2633367
- Aktenzeichen
- EP11773471
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 4. September 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B15/14G02B21/02
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Fachgebiete
Cabinet Camus & Lebkiri in Paris wurde maßgeblich von Alexandre Lebkiri geprägt, der zuvor beim INPI den Softwareschutz mitgestaltete. Mit Standorten auch in Grenoble und Cergy-Pontoise berät das Team zu Software- und Markenfragen und wurde im Décideurs-Ranking 2024 für Telekommunikationspatente ausgezeichnet.