Lösungen und Verfahren zur Metallabscheidung
EP2633529
Art A2
4. September 2013
Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2633529
- Aktenzeichen
- EP11835718
- Anmeldetag
- 24. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 4. September 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01B1/02C23C18/31C23C18/32C23C18/36C23C18/48C23C18/50
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte