Formmessvorrichtung, Formmessverfahren, und Strukturherstellungsverfahren

EP2634530 Art B1 4. Mai 2022

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2634530
Aktenzeichen: EP11836416
Anmeldetag: 27. Oktober 2011
Veröffentlichung: 4. Mai 2022
Erteilung: 4. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01B21/20G01B11/24G01B21/04G01B5/008

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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