Oberflächenformmessverfahren und Messvorrichtung mit wellenlängenscannender Interferometrie

EP2636988 Art A1 11. September 2013

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2636988
Aktenzeichen: EP13154752
Anmeldetag: 11. Februar 2013
Veröffentlichung: 11. September 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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