Verfahren zur Herstellung eines Wärmeoxidfilms aus einem Monokristallinen Siliciumwafer
EP2639819
Art B1
4. Januar 2017
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2639819
- Aktenzeichen
- EP11839425
- Anmeldetag
- 6. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 4. Januar 2017
- Erteilung
- 4. Januar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff
München, Deutschland
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
29.952
Patente gesamt
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Patentanwälte
1
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