Substrathalter für die Oberflächenbehandlung von Substraten und Verwendung des Substrathalters

EP2643850 Art A1 2. Oktober 2013

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2643850
Aktenzeichen: EP11796619
Anmeldetag: 25. November 2011
Veröffentlichung: 2. Oktober 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/687H01L21/673H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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