Verfahren zur Herstellung von titanhaltigen Dünnfilmen mittels Atomschichtabscheidung mit Vorläufern auf Monocyclopentadienyl-Titanbasis
EP2644741
Art B1
4. März 2015
Anmelder: Sigma-Aldrich Co. LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2644741
- Aktenzeichen
- EP13158672
- Anmeldetag
- 10. September 2008
- Veröffentlichung
- 4. März 2015
- Erteilung
- 4. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Sigma-Aldrich Co. LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Sigma-Aldrich
Sigma-Aldrich ist ein US-amerikanischer Anbieter von Chemikalien und Life-Science-Produkten und gehört seit 2015 zum deutschen Merck-Konzern. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Pharma-/Biotechnologie und organische Chemie, ergänzt durch Messtechnik und Metallurgie. Die Anmeldungen von 2000 bis 2025 betreffen unter anderem Ramanspektroskopie zur Prozessüberwachung und die Herstellung von Lipid-Nanopartikeln.
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Vertreten von
Brown, David Leslie
Bristol, Großbritannien
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