Pumpensystem zur Evakuierung von Gas aus einer Mehrzahl von Kammern sowie Verfahren zur Steuerung des Pumpensystems
Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2644900
- Aktenzeichen
- EP13156718
- Anmeldetag
- 26. Februar 2013
- Veröffentlichung
- 27. Dezember 2017
- Erteilung
- 27. Dezember 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D27/00
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Pumpensystem zur Evakuierung von Gas aus einer Mehrzahl von Kammern mit wenigstens drei Vakuumpumpen, wobei wenigstens zwei Vorpumpen und wenigstens eine Turbomolekularpumpe vorgesehen sind, wobei in wenigstens einer Verbindungsleitung zwischen den wenigstens zwei Vorpumpen wenigstens eine Querschnittsverengung zur Regelung des Gasstromes vorgesehen ist. Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Steuerung des Pumpensystems. (Fig. 2).
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Patentanwaltskanzlei Knefel & Knefel wurde 1964 in Wetzlar gegründet und 1994 zur Sozietät ausgebaut; die Leitung liegt seit 1997 bei der Gründertochter. Inhabergeführt mit mathematisch-physikalischem Fachprofil, begleitet sie Mandanten auch beim Arbeitnehmererfinderrecht.