Verfahren zur Einstellung einer Position eines Trägerelements in einem Teilchenstrahlgerät
EP2645401
Art A3
19. November 2014
Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2645401
- Aktenzeichen
- EP13161861
- Anmeldetag
- 29. März 2013
- Veröffentlichung
- 19. November 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss Microscopy GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
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Vertreten von
Tongbhoyai, Martin
Köln, Deutschland
91
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7
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