Farbstoffabsorptionsvorrichtung und Farbstoffadsorptionsverfahren

EP2645468 Art A1 2. Oktober 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2645468
Aktenzeichen: EP11842523
Anmeldetag: 27. September 2011
Veröffentlichung: 2. Oktober 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01M14/00H01L31/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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