Optische Vorrichtung, Diese Optische Vorrichtung Enthaltendes Lasergerät, und Dieses Lasergerät Enthaltendes Euv-Lichterzeugungssystem
EP2646875
Art B1
20. April 2016
Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2646875
- Aktenzeichen
- EP11811116
- Anmeldetag
- 23. November 2011
- Veröffentlichung
- 20. April 2016
- Erteilung
- 20. April 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S3/225H01S3/23H01S3/00G03F7/20H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Gigaphoton Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Gigaphoton
Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.
539 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hards, Andrew
München, Deutschland
144
Patente gesamt
25
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Global IP Europe Patentanwaltskanzlei
Global IP Europe Patentanwaltskanzlei · München