Verfahren zur Wasserstoffpassivierung von Halbleiterschichten
EP2647037
Art B1
1. April 2015
Anmelder: Evonik Degussa GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2647037
- Aktenzeichen
- EP11779713
- Anmeldetag
- 11. November 2011
- Veröffentlichung
- 1. April 2015
- Erteilung
- 1. April 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/30H01L31/18H05H1/34H05H1/48
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Evonik Degussa GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Evonik
Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.
5.558 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Olbricht, Gerhard
Marl, Deutschland
11
Patente gesamt
7
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte