DA-Umwandlungsvorrichtung und Elektronenstrahlexpositionssystem damit
EP2651037
Art A2
16. Oktober 2013
Anmelder: Advantest Corporation, Hitachi Information & Telecommunication Engineering, Ltd., Hitachi Information & Communication Engineering, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2651037
- Aktenzeichen
- EP12191833
- Anmeldetag
- 8. November 2012
- Veröffentlichung
- 16. Oktober 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H03M1/66G09G1/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Advantest Corporation
Hitachi Information & Telecommunication Engineering, Ltd.
Hitachi Information & Communication Engineering, Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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Kanzlei
Tetzner & Partner mbB
München, Deutschland
Tetzner & Partner mbB ist eine Münchner Patent- und Rechtsanwaltskanzlei, die seit 1962 zu Patentrecht, Markenrecht und weiteren Bereichen des gewerblichen Rechtsschutzes berät und Mandanten als European Patent and Trademark Attorney vertritt.
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