Mikrostrukturapparat mit optischer Oberflächengüte sowie Verfahren zur Herstellung desselben

EP2653222 Art A3 18. Dezember 2013

Anmelder: Karlsruher Institut für Technologie 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2653222
Aktenzeichen: EP13401033
Anmeldetag: 9. April 2013
Veröffentlichung: 18. Dezember 2013
Rechtsraum: EP
IPC: B01L3/00G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Karlsruher Institut für Technologie
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Karlsruher Institut für Technologie

Deutsche Universität und Forschungseinrichtung in Karlsruhe, entstanden aus Fusion von Universität und Großforschungszentrum, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur- und Technikwissenschaften.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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