Beschichtungsverfahren zur Abscheidung eines Schichtsystems auf einem Substrat, sowie Substrat mit einem Schichtsystem

EP2653583 Art B1 10. März 2021

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon, Oerlikon Metaplas GmbH, Sulzer Metaplas GmbH 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2653583
Aktenzeichen: EP13161346
Anmeldetag: 27. März 2013
Veröffentlichung: 10. März 2021
Erteilung: 10. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/00C23C14/06C23C14/32C23C14/34C23C14/35

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Beschichtungsverfahren zur Abscheidung eines Schichtsystems (S) gebildet aus Hartstoffschichten auf einem Substrat (1), umfassend die folgenden Verfahrensschritte: Bereitstellen einer evakuierbaren Prozesskammer mit einer kathodischen Vakuum-Bogenverdampfungsquelle (Q1) mit einem Verdampfungsmaterial (M1) und einer Magnetronentladungsquelle (Q2) mit einem Entladungsmaterial (M2), wobei die Magnetronentladungsquelle (Q2) in einem HIPIMS-Modus betrieben werden kann. Danach abscheiden mindestens einer Kontaktschicht (S1) umfassend das Verdampfungsmaterial (M1) auf der Oberfläche des Substrats (1) in einem kathodischen Vakuum-Bogenverdampfungsverfahren nur mittels der kathodischen Vakuum-Bogenverdampfungsquelle (Q1). Erfindungsgemäss wird nach dem Abscheiden der Kontaktschicht (S1) mindestens eine Zwischenschicht (S2) in Form einer nanostrukturierten Mischschicht, insbesondere in Form einer nanolagigen Zwischenschicht (S2) in einer Hybridphase oder als Nanokompositschicht, umfassend das Verdampfungsmaterial (M1) und das Entladungsmaterial (M2), durch parallelen Betrieb der kathodischen Vakuum-Bogenverdampfungsquelle (Q1) und der Magnetronentladungsquelle (Q2) abgeschieden. Dabei wird die Magnetronentladungsquelle (Q2) im HIPIMS-Modus betrieben, und abschliessend mindestens eine Deckschicht (S3) umfassend das Material (M2) nur mittels der Magnetronentladungsquelle (Q2) abgeschieden, wobei die Magnetronentladungsquelle (Q2) im HIPIMS-Modus betrieben wird. Ausserdem betrifft die Erfindung ein Substrat mit einem Schichtsystem.

Anmelder

Firmen: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Oerlikon Metaplas GmbH
Sulzer Metaplas GmbH
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

287 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von