Beschichtungsverfahren zur Abscheidung eines Schichtsystems auf einem Substrat, sowie Substrat mit einem Schichtsystem

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2653583

Aktenzeichen

EP13161346

Anmeldetag

27. März 2013

Veröffentlichung

10. März 2021

Erteilung

10. März 2021

Rechtsraum

EP

IPC

C23C14/00C23C14/06C23C14/32C23C14/34C23C14/35

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Beschichtungsverfahren zur Abscheidung eines Schichtsystems (S) gebildet aus Hartstoffschichten auf einem Substrat (1), umfassend die folgenden Verfahrensschritte: Bereitstellen einer evakuierbaren Prozesskammer mit einer kathodischen Vakuum-Bogenverdampfungsquelle (Q1) mit einem Verdampfungsmaterial (M1) und einer Magnetronentladungsquelle (Q2) mit einem Entladungsmaterial (M2), wobei die Magnetronentladungsquelle (Q2) in einem HIPIMS-Modus betrieben werden kann. Danach abscheiden mindestens einer Kontaktschicht (S1) umfassend das Verdampfungsmaterial (M1) auf der Oberfläche des Substrats (1) in einem kathodischen Vakuum-Bogenverdampfungsverfahren nur mittels der kathodischen Vakuum-Bogenverdampfungsquelle (Q1). Erfindungsgemäss wird nach dem Abscheiden der Kontaktschicht (S1) mindestens eine Zwischenschicht (S2) in Form einer nanostrukturierten Mischschicht, insbesondere in Form einer nanolagigen Zwischenschicht (S2) in einer Hybridphase oder als Nanokompositschicht, umfassend das Verdampfungsmaterial (M1) und das Entladungsmaterial (M2), durch parallelen Betrieb der kathodischen Vakuum-Bogenverdampfungsquelle (Q1) und der Magnetronentladungsquelle (Q2) abgeschieden. Dabei wird die Magnetronentladungsquelle (Q2) im HIPIMS-Modus betrieben, und abschliessend mindestens eine Deckschicht (S3) umfassend das Material (M2) nur mittels der Magnetronentladungsquelle (Q2) abgeschieden, wobei die Magnetronentladungsquelle (Q2) im HIPIMS-Modus betrieben wird. Ausserdem betrifft die Erfindung ein Substrat mit einem Schichtsystem.

Anmelder

Firmen

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Oerlikon Metaplas GmbH
Sulzer Metaplas GmbH

Land

🇨🇭 Schweiz

Fachgebiete