Haltevorrichtung für Substrate sowie Verfahren zur Beschichtung eines Substrates

EP2655687 Art B1 27. Februar 2019

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2655687
Aktenzeichen: EP11819088
Anmeldetag: 19. Dezember 2011
Veröffentlichung: 27. Februar 2019
Erteilung: 27. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/50C23C16/458H01L21/683H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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