Laservorrichtung und System zur Erzeugung von Extremem Uv-Licht mit der Laservorrichtung

EP2656456 Art A2 30. Oktober 2013

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2656456
Aktenzeichen
EP11813691
Anmeldetag
15. Dezember 2011
Veröffentlichung
30. Oktober 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/23H01S3/00H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Gigaphoton Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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