Verfahren zur Abscheidung von Siliziumdioxidschichten
EP2657363
Art B1
20. Februar 2019
Anmelder: SPTS Technologies Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2657363
- Aktenzeichen
- EP13165092
- Anmeldetag
- 24. April 2013
- Veröffentlichung
- 20. Februar 2019
- Erteilung
- 20. Februar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C23C16/455C23C16/505C23C16/56H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SPTS Technologies Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
Vertreten von
Lynch, Lyndsey Ann
Cheltenham, Großbritannien
36
Patente gesamt
17
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Wynne-Jones IP Limited
Wynne-Jones IP Limited · Gloucester